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硅片清洗废水处理案例|硅片清洗废水处理方法

该厂为8屏幕尺寸晶圆加工线服务设施的超净水设计,没天存在含硅焦化废水150吨。焦化废水里面的虽无血本属,但硅水分含量高易积垢,且热敏电阻率需实现18MΩ·cm也能化工废水治理 。和原有治理 加工制作工艺 不可无法新实行的《智能化工水严重大气污染物释放规则规则》(GB39731-2020)很释放规则限制值。 废污水化学成分显著特点 关键被污染的物 :溶液硅(200-300mg/L)、颗粒物硅(颗粒直径0.1-1μm) 特别规定 :TOC<10μg/L,硼量<5μg/L 水硬度的特点 :低水的电导率(<50μS/cm)但硅有机物底部形态简化 净化处理的工艺工作流程 企业创新运用"梯级膜分开+电去铝离子"组合式技术: 微滤预办理 :1μm陶瓷厂家膜手机拦截大颗料硅,通量保持80LMH 正离子变换树脂胶 :D201大孔硅橡胶确定性吸硅酸原子 二级考试RO控制系统 :第一名段收售率60%,第二种段进行高脱硼膜组件 EDI电去阳离子 :直流电压体积2A/m²,持继除去残留阴阳离子 太阳光的紫外线除菌 :254nm红外光谱线残留量40mJ/cm² 科技难点 开拓上用阻硅剂(生产胺类包覆物),延迟膜造成的污染的周期3倍 EDI摸块不断创新流道设计的概念,硅的还原率加快至99.8% 网上硅探讨仪(测定范畴0.1-500μg/L)保证精准性的保持 运转取得的成绩 经承包方测试: 总硅从280mg/L降低0.05mg/L 硼含量从8μg/L降为0.3μg/L 设备回笼率从原40%提高自己至68% 膜根换周期公式提升至5年,年操作资金消减35%

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