该厂为8屏幕尺寸晶圆加工线服务设施的超净水设计,没天存在含硅焦化废水150吨。焦化废水里面的虽无血本属,但硅水分含量高易积垢,且热敏电阻率需实现18MΩ·cm也能化工废水治理 。和原有治理 加工制作工艺 不可无法新实行的《智能化工水严重大气污染物释放规则规则》(GB39731-2020)很释放规则限制值。
废污水化学成分显著特点
关键被污染的物
:溶液硅(200-300mg/L)、颗粒物硅(颗粒直径0.1-1μm)
特别规定
:TOC<10μg/L,硼量<5μg/L
水硬度的特点
:低水的电导率(<50μS/cm)但硅有机物底部形态简化
净化处理的工艺工作流程
企业创新运用"梯级膜分开+电去铝离子"组合式技术:
微滤预办理
:1μm陶瓷厂家膜手机拦截大颗料硅,通量保持80LMH
正离子变换树脂胶
:D201大孔硅橡胶确定性吸硅酸原子
二级考试RO控制系统
:第一名段收售率60%,第二种段进行高脱硼膜组件
EDI电去阳离子
:直流电压体积2A/m²,持继除去残留阴阳离子
太阳光的紫外线除菌
:254nm红外光谱线残留量40mJ/cm²
科技难点
开拓上用阻硅剂(生产胺类包覆物),延迟膜造成的污染的周期3倍
EDI摸块不断创新流道设计的概念,硅的还原率加快至99.8%
网上硅探讨仪(测定范畴0.1-500μg/L)保证精准性的保持
运转取得的成绩
经承包方测试:
总硅从280mg/L降低0.05mg/L
硼含量从8μg/L降为0.3μg/L
设备回笼率从原40%提高自己至68%
膜根换周期公式提升至5年,年操作资金消减35%